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CAPÍTULO DE LIBRO

Assessment of fracture and elastoplastic properties of thin and very thin films

Libro: Stress-Induced Phenomena and Reliability in 3D Microelectronics
Autores: Trueba Elorza, María Isabel; González, D.; Ocaña Arizcorreta, Ibon; Elizalde González, Reyes; Martínez Esnaola, José Manuel; Hernandez, M.T.; Haverty, M.; Pantuso, D.
Editorial: American Institute of Physics
Fecha de publicación: 2014
Página Inicial - Final: 158 - 167
ISBN: 9781632667410
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